冯·阿登纳线性离子源 LION® 是一个适用于预处理和表面改性的部件。它有助于清除碳氢化合物并可作用于氩气,如有必要,还可使用额外的氧气。
LION® 的离子束具有强烈的聚焦性和高能量,因而非常适用于需要进行物理蚀刻的连续式镀膜系统。由于采用简单而坚固的设计,离子源可以轻松实现升级。
LION® 的主要应用是大面积玻璃镀膜和金属带镀膜。我们提供两种类型:入射角可调的远程安装型;或法兰安装型。
LION® - 线性离子源
技术能力
冯·阿登纳线性离子源 LION® 是一个适用于预处理和表面改性的部件。它有助于清除碳氢化合物并可作用于氩气,如有必要,还可使用额外的氧气。
LION® 的离子束具有强烈的聚焦性和高能量,因而非常适用于需要进行物理蚀刻的连续式镀膜系统。由于采用简单而坚固的设计,离子源可以轻松实现升级。
LION® 的主要应用是大面积玻璃镀膜和金属带镀膜。我们提供两种类型:入射角可调的远程安装型;或法兰安装型。